經(jīng)過3年的科技攻關(guān)，由中國計(jì)量科學(xué)研究院、同濟(jì)大學(xué)和國防科技大學(xué)聯(lián)合組成的研究小組，在國內(nèi)首次成功研制出一維鉻原子沉積納米光柵樣板。該課題于近日通過國家質(zhì)檢總局科技司組織的驗(yàn)收鑒定。它的成功研制，突破了我國納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的技術(shù)瓶頸，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平。

　　據(jù)了解，隨著納米技術(shù)迅速發(fā)展，納米產(chǎn)業(yè)對計(jì)量基標(biāo)準(zhǔn)的需求也日益突顯。但由于缺乏核心技術(shù)，我國每年進(jìn)口的近萬臺納米測量儀 器無法進(jìn)行質(zhì)量檢測，不得不依靠國外樣板進(jìn)行校準(zhǔn)。即便如此，我國納米產(chǎn)業(yè)量值不一的狀況并未從根本上得到解決。據(jù)了解，由于溯源渠道不同，同在無錫的兩 家大型集成電路企業(yè)的線寬量值竟然相差10%。量值溯源問題已嚴(yán)重阻礙了我國納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，對國民經(jīng)濟(jì)造成了很大損失。

　　為打破這一困境，以中國計(jì)量科學(xué)研究院電學(xué)量子所長度量子基準(zhǔn)研究室為主導(dǎo)的科研小組在調(diào)研基礎(chǔ)上，于2006年立項(xiàng)承擔(dān)了“十一五”國家科技支撐計(jì)劃課題?? “冷原子納米尺度計(jì)量基準(zhǔn)關(guān)鍵技術(shù)研究”。經(jīng)過3年的努力，研究小組掌握了鉻原子沉積納米光柵理論和技術(shù)，自主建立了高真空度原子沉積實(shí)驗(yàn)裝置，研制出柵 距為(213.1±0.5)nm的一維納米尺度光柵標(biāo)準(zhǔn)樣板，并通過了專業(yè)機(jī)構(gòu)的計(jì)量驗(yàn)證。

　　據(jù)介紹，一維標(biāo)準(zhǔn)納米光柵樣板是國際計(jì)量局規(guī)定的5個(gè)納米標(biāo)準(zhǔn)樣板之一。該項(xiàng)成果的取得，使我國成為少數(shù)幾個(gè)掌握原子光柵沉積技術(shù)的國家之一，使納米計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)國產(chǎn)化成為可能，將從根本上解決我 國納米測量儀器的量值溯源和校準(zhǔn)問題，改變我國納米計(jì)量長期依賴國外的現(xiàn)狀，為我國納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展提供有力的技術(shù)支撐。