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深耕幾何量計(jì)量30余年!傅云霞入選上海領(lǐng)軍人才

發(fā)布時(shí)間:2020-03-24 作者: 來源: 瀏覽:1938

近日,2019年上海領(lǐng)軍人才培養(yǎng)計(jì)劃入選名單正式公布,上海市計(jì)測(cè)院學(xué)科帶頭人傅云霞同志入選!

人物事跡

傅云霞深耕幾何量計(jì)量30余年,在精密幾何量誤差理論和分析領(lǐng)域具有深厚造詣,現(xiàn)任上海市計(jì)測(cè)院機(jī)械制造所所長(zhǎng)。

近年來,在傅云霞同志的帶領(lǐng)下,精密幾何量團(tuán)隊(duì)圍繞集成電路、飛機(jī)制造產(chǎn)業(yè)等上??苿?chuàng)中心建設(shè)的重點(diǎn)發(fā)展方向不斷開展深入研究,聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)微型化器件特征尺寸的納米計(jì)量需求,重點(diǎn)開展了微納米聯(lián)動(dòng)定位運(yùn)動(dòng)技術(shù)、接觸與非接觸納米零點(diǎn)定位傳感技術(shù)以及納米標(biāo)準(zhǔn)樣板的研發(fā)工作。傅云霞同志作為主要技術(shù)專家,傾力于國(guó)家重大儀器開發(fā)專項(xiàng)“跨尺度微納米測(cè)量?jī)x的開發(fā)和應(yīng)用”項(xiàng)目,組織研制了多個(gè)型號(hào)納米測(cè)量?jī)x和具有多個(gè)幾何標(biāo)準(zhǔn)尺寸的納米標(biāo)準(zhǔn)樣板,填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)多項(xiàng)納米計(jì)量技術(shù)的空白。2019年,上海市計(jì)測(cè)院與中國(guó)商飛公司共同建立了民用飛機(jī)智慧測(cè)量技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室,傅云霞同志帶領(lǐng)大尺寸幾何量團(tuán)隊(duì)開展大尺寸測(cè)量系統(tǒng)多參數(shù)綜合校準(zhǔn)技術(shù)研究和面向飛機(jī)制造的大尺寸測(cè)量仿真及優(yōu)化技術(shù)研究,大大提升了我國(guó)民用飛機(jī)大尺寸計(jì)量測(cè)試技術(shù)水平。2020年起實(shí)施的國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“硅基MEMS高深寬比三維結(jié)構(gòu)的干涉顯微無損測(cè)量技術(shù)”項(xiàng)目中,傅云霞同志作為二級(jí)課題負(fù)責(zé)人,帶領(lǐng)課題組研發(fā)高深寬比的硅基MEMS結(jié)構(gòu)測(cè)量技術(shù),解決了半導(dǎo)體、精密加工領(lǐng)域中硅基MEMS高深寬比結(jié)構(gòu)快速無損測(cè)量的迫切需求,推動(dòng)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)硅基MEMS器件的制備工藝水平。近年來,傅云霞同志發(fā)表論文二十余篇,獲得省部級(jí)獎(jiǎng)勵(lì)5項(xiàng),取得發(fā)明專利授權(quán)11項(xiàng)。作為專業(yè)技術(shù)帶頭人,成功組建2個(gè)局級(jí)科技創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)。作為院博士后工作站指導(dǎo)老師,先后培養(yǎng)4名博士后。作為上海交大、上海理工和中國(guó)計(jì)量大學(xué)聯(lián)合培養(yǎng)帶教老師,指導(dǎo)博士1名、碩士10余名。


傅云霞是上海市計(jì)測(cè)院繼邵力、鄒子英之后,第三位高層次專家獲得此項(xiàng)殊榮。上海市計(jì)測(cè)院將持續(xù)深化對(duì)領(lǐng)軍人才的培養(yǎng),充分發(fā)揮領(lǐng)軍人物的引領(lǐng)作用,為更好地服務(wù)上??苿?chuàng)中心建設(shè)提供計(jì)量技術(shù)支撐和人才保證。

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